尼康推出自动化快速晶圆检测系统AMI-3000

上网时间: 2003年08月18日? 我来评论 【字号: ? ?小】

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尼康公司的半导体检测技术分部 (SITECH)近日推出一款晶圆检测系统AMI-3000,该系统可用于采用90纳米以下工艺的300mm晶圆自动化生产。

AMI-3000主要用于解决后开发的检验问题,同时还可以调整用于几乎所有的后序工艺检测(post-process inspection)。其自动宏晶圆检测单元具有晶圆成像系统,能够检测整个晶圆表面,每小时可检测晶圆150个以上。

AMI-3000还具有自动缺陷识别功能和缺陷归类软件工具。AMI-3000目前还可提供背面和边缘缺陷检测模块,以增强系统功能。


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