FSI接到多宗STG模块定单

上网时间: 2000年12月19日? 我来评论 【字号: ? ?小】

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FSI公司表示,它接到了多宗购买Vieldup 2100表面张力梯度(STG)净化和干燥集成模块的定单。这些定单都是FSI在其2001财年第一财季收到的,其中包括60多个用于150mm、200mm和300mm晶圆湿工作台安装的OEM产品。

该公司位于美国明尼苏达州,它认为STG净化干燥技术正在成为200mm和300mm晶圆生产过程中受青睐的干燥技术。

“因此,最终用户对此需求强劲,”FSI公司表面加工部主任John Ely表示,“当我们改进生产工艺并提供YieldUP 2100的标准工具后,供货时间将进一步缩短,安装更为快捷,湿工作台制造商和最终用户都可从中受益。”

据FSI介绍,FSI专利的STG干燥工艺与CleanPoint 静电POU过滤模块相结合,可以防止在经过湿加工并干燥过的晶圆上形成水痕和污渍。YieldUp 2100模块是一种用于OEM的浸入式净化干燥产品,可以用在许多不同的表面上,包括晶圆、磁盘和扁平盘片。


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