TEL 与 Nikon 共享评估设施

上网时间: 2000年12月07日? 我来评论 【字号: ? ?小】

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日本公司Tokyo Electron Ltd. (TEL)和Nikon宣布它们将共享用于涂敷机/开发机及曝光工具的评估设施。

根据协议,设在东京的TEL公司将在日本Nikon Kumagaya工厂的净化车间安装其300mm涂敷机/开发机,这种机器称为lean Track Act 12。

同时,Nikon也将在Tokyo Electron Kyushu Ltd.的Koshi工厂中新建的净化车间中安装一台称为NSR-S305B的扫描仪。Tokyo Electron Kyushu Ltd.是TEL的子公司,位于日本的Tosu市,它将开发并生产涂敷机和开发机。

TEL表示,由于半导体制造商的规模逐渐趋于小型化,因而公司间必须采取上述方式来增强竞争力。两家公司认为,通过组合双方的资源,他们可提供一些先进的服务,如短期工艺优化等。

该协议将从2001财年起生效,同时两家公司还计划邀请光阻材料生产商加入此项研究。


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