TEL 与 Nikon 共享评估设施

日本公司Tokyo Electron Ltd. (TEL)和Nikon宣布它们将共享用于涂敷机/开发机及曝光工具的评估设施。

根据协议，设在东京的TEL公司将在日本Nikon Kumagaya工厂的净化车间安装其300mm涂敷机/开发机，这种机器称为lean Track Act 12。

同时，Nikon也将在Tokyo Electron Kyushu Ltd.的Koshi工厂中新建的净化车间中安装一台称为NSR-S305B的扫描仪。Tokyo Electron Kyushu Ltd.是TEL的子公司，位于日本的Tosu市，它将开发并生产涂敷机和开发机。

TEL表示，由于半导体制造商的规模逐渐趋于小型化，因而公司间必须采取上述方式来增强竞争力。两家公司认为，通过组合双方的资源，他们可提供一些先进的服务，如短期工艺优化等。

该协议将从2001财年起生效，同时两家公司还计划邀请光阻材料生产商加入此项研究。