TEL宣称在与Tegal进行的蚀刻技术诉讼案中胜诉

上网时间: 2000年09月27日? 我来评论 【字号: ? ?小】

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东京电子有限公司(TEL)表示,一家美国地方法院已裁定该公司对加州Petaluma地区的Tegal公司不构成侵权,它将继续向北美晶圆制造商销售其先进的氧化蚀刻装置并提供服务。

TEL表示,美国弗吉尼亚东区地方法院在同意该公司就Tegal的专利侵权诉讼案作一个总结性判决的要求后,已于上周下达最终决议。两年来,Tegal一直起诉TEL的 A-IEM 65DI和85DI氧化蚀刻系统侵犯了该公司在双频技术上的美国专利权。

然而,这家东京半导体装备提供商指出,Tegal的专利只限于“少于或等于2MHz”的低频双频三极管蚀刻工艺,而法院亦对此表示同意。但Tegal对法院的决定并没有即时提出异议。

“TEL表示它不仅保护自有的创新性技术,同时尊重其他专利权政策。”TEL在东京的公司高级职员Takaaki Matsuoka做出以上陈述。


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