佳能公司计划量产200mm/300mm激态原子激光扫描器

上网时间: 2000年09月01日? 我来评论 【字号: ? ?小】

关键字:volume production? laser scanner?

佳能美国公司近日表示:其半导体设备分部计划在2001年大规模生产FPA-5000AS2产品,即第二代200mm/300mm ArF激态原子激光扫描器。公司FPA-5000AS1产品中的第一代300mm ArF已于去年起在SELETE中使用。

佳能公司表示目前正在扩大生产线,以便能适应半导体业的快速发展,并开发用于0.13微米以下电路图成像的蚀刻工具。佳能公司将在日本宇都宫光学厂生产新扫描器。公司最近在该厂投资,以扩大其光刻扫描器和平板显示的镜面投影校准器的生产能力。宇都宫工厂同时也是新建成的182,800平方英尺佳能光学研发基地。

为了满足ArF激态原子激光扫描器的巨大需求,佳能公司还计划新建一个工厂以增加氟化钙(CaF2)透镜原料的供应。佳能公司在Yuuki 市 Ibaragi县征地9公顷,开始建设一个107500平方英尺的工厂,准备在2001年中期生产出CaF2玻璃。工厂将安装一个电子熔炉以去除钙氟化物矿石中的杂质,佳能预计投资将达到四千万美元(40亿日元)。


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