高精度非接触式测量系统

上网时间: 2000年07月29日? 我来评论 【字号: ? ?小】

关键字:高精度非接触式测量系统? Voyagers系列?

GSI Lumonics Metrology Products Group推出VIEW(tm) Pinnacle(tm)系列非接触式空间定位测量系统。它基于影像和激光成像原理,适用于金属/塑胶零件、电子元件、半导体器件及数据存储零件等产品的测量应用。新系列同该公司的Voyagers系列应用程序完全兼容。

新系列测试平台采用线性及旋转无刷电机直接驱动,具有加速快、定位迅速的特点。非接触编码器可保证良好的测量可重复性,X-Y-Z三维定位精度达0.025μm。它可应用于1000级的洁净室环境中,具有ESD控制功能,可满足高级制造环境中的苛刻要求;同时系统平均无故障时间达10,000小时。

该产品外观设计符合人类工程学原理,内置式工作台完全可调节。VIEW Metrology软件与Windows NT(r)环境兼容。系统具有多种光学镜头、光源技术、激光探头及显微镜头备选,可满足多种不同测量应用的需要。


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